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          電子產(chǎn)品的種類繁多，隨著微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加，需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進行全過程生產(chǎn)或部生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有：各種半導(dǎo)體材料及其器件生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)、光電子生產(chǎn)、薄膜晶體管液晶顯示器（簡稱：TFT-LCD）生產(chǎn)、微硬盤驅(qū)動器（簡稱HDD）生產(chǎn)、等離子顯示器（簡稱：PDP）生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn)、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)、印制電路板等。  

        作為無塵室廠房的裝修工程設(shè)計的先導(dǎo)步驟，工藝設(shè)計需要在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)設(shè)備布局，合理確定各種公用動力設(shè)施的技術(shù)參數(shù)，做到能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少;同時，還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設(shè)施的配置和布置，滿足電子產(chǎn)品無塵室廠房的裝修工程生產(chǎn)要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求；此外，還應(yīng)該盡可能提升生產(chǎn)設(shè)備的自動化水平和物料運輸?shù)淖詣踊?，在?jīng)濟、實用、安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。生產(chǎn)設(shè)備的平面布局也是電子無塵室廠房的裝修工程工藝設(shè)計的重要內(nèi)容。電子無塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據(jù)調(diào)查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護區(qū)，潔凈生產(chǎn)區(qū)對潔凈度要求嚴(yán)格，而設(shè)備維護區(qū)的空氣潔凈度等級相對較低。

凈化原理：

氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化

重復(fù)以上過程，即可達到凈化車間目的。

結(jié)構(gòu)材料：

        1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。角與角之前的拼接選用圓弧連接，宜清潔，符合GMP要求

        2、地坪：可采用2mm/3mm環(huán)氧樹脂或是PVC地坪，電子廠房選用防靜電地坪

        3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

        4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔 。

凈化參數(shù)：

       換氣次數(shù)：100000級≥18次；10000級≥30次；1000≥50次；

       壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速：10級、100級0.3-0.5m/s;

       溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。

       濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A)；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%；照度300LX。

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